擴(kuò)散硅壓力變送器

擴(kuò)散硅壓力變送器的定義

     硅單晶材料在受到外力作用產(chǎn)生極微小應(yīng)變時(shí)(一般步于400微應(yīng)變)，其內(nèi)部原子結(jié)構(gòu)的電子能級(jí)狀態(tài)會(huì)發(fā)生變化，從而導(dǎo)致其電阻率劇烈變化(G因子突變)。用此材料制成的電阻也就出現(xiàn)極大變化，這種物理效應(yīng)稱(chēng)為壓阻效應(yīng)。利用壓阻效應(yīng)原理，采用集成工藝技術(shù)經(jīng)過(guò)摻雜、擴(kuò)散，沿單晶硅片上的特點(diǎn)晶向，制成應(yīng)變電阻，構(gòu)成惠斯凳電橋，利用硅材料的彈性力學(xué)特性，在同一切硅材料上進(jìn)行各向異性微加工，就制成了一個(gè)集力敏與力電轉(zhuǎn)換檢測(cè)于一體的擴(kuò)散硅傳感器。給傳感器匹配一放大電路及相關(guān)部件，使之輸出一個(gè)標(biāo)準(zhǔn)信號(hào)，就組成了一臺(tái)完整的擴(kuò)散硅壓力變送器。

擴(kuò)散硅壓力變送器的工作原理 

   被測(cè)介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的膜片上，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微位移，使傳感器的電阻值發(fā)生變化，和用電子線路檢測(cè)這一變化，并轉(zhuǎn)換輸出一個(gè)對(duì)應(yīng)于這一壓力的標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量信號(hào)。

擴(kuò)散硅壓力變送器的技術(shù)指標(biāo)
   精度等級(jí)：0.25級(jí)基本誤差±0.25%
   非線性誤差：0.3級(jí)≤±0.3%FS
   滯后誤差： ≤±0.3%FS
輸出特性：
①0-10mA輸出，負(fù)載電阻0-1.5KΩ
②4-20mA輸出，負(fù)載電阻0-600Ω
③恒流輸出內(nèi)阻大于10MΩ
④二線制4-20mA輸出：標(biāo)準(zhǔn)供電DC24V
防爆標(biāo)志：（RPT-Ⅲ）：Exia Ⅱ CT4-6